回首頁 會員中心 我的購物車 線上留言 付款說明 常見問題 加入最愛 退出登入   

首次訂購請先參閱訂購說明〕 非會員可直接訂購

購物車   線上留言     免費課程  


課程(名稱.編號)簡索

 

  帳  號:  

  密  碼:  

 
    
            關於我們
            課程說明
            訂購說明
            付款說明

       領導藝術.綜合管理
       人力資源.企業培訓
       職務能力培訓系統班
       銷售實戰.市場行銷
       職場技能.個人成長
       Office白領辦公達人
       財經金融.投資理財
       語言學習.出國留學
       中國大陸證照培訓
       資格考試.考証培訓
       文化.生活.興趣.保健
       生產管理.採購物流
       移動開發
       前端開發
       後端開發
       數據庫.服務器
       網頁平面設計
       雲計算.大數據
       網絡營銷推廣
       自然學科
       工程技術學科
       經濟管理學科
       醫.藥.農.林學科
       法律 學科
       計算機工程學科
       哲學.歷史學科
       文學.藝術學科
       教育社會學科
       外語 學科
       醫藥農林
       哲學歷史
       文學藝術
       工程技術
       基礎科學
       經管法學

目前位置:首頁 > 【大學教育課程】 > 工程技術學科 > 機械|儀表|工業|測繪


課程名稱:     微納加工技術
課程編號: MS_1033 系列: (大學)國家級課程
授課學校: 清華大學

授時:

全 32 講

授課語言: 中文

光碟版:

 1   片教程光碟(mp4檔)

其他說明: ..........
簡      介: 微納加工廣泛應用於物理、化學、材料、電子、機械、生物等學科。本課程目的是使學生掌握各種微納加工基本原理,為未來研究打下很好的器件制備基礎。..........
光碟版: NT$ 598 購 買:
訂購說明: ◎優惠期間中!各版本為均一價,請於結帳時註明
◎網路版→檔案複查中,暫不提供
◎光碟版→二套含以上(免運費)/多套另附--贈送課程
              

   

    微納加工廣泛應用於物理、化學、材料、電子、機械、生物等學科。本課程目的是使學生掌握各種微納加工基本原理,為未來研究打下很好的器件制備基礎。

  ——   課程團隊
課程概述

       微納加工廣泛應用於物理、化學、材料、電子、機械、生物等各種學科。本課程的目的是使學生掌握各種微納加工的基本原理,為未來的研究打下很好的器件制備基礎。 本課程的特點是製作較多的動畫,讓同學理解工藝過程不再是一件難事。同時本課程將會針對各個工藝過程中的設備進行拍攝和介紹,讓同學結合設備視頻和課堂講授,深度掌握加工工藝,以後給導師制備一個新型器件不再是難事。

本課程將會講授氧化,低壓化學氣相沉積,等離子加強化學氣相沉積,熱蒸發,外延,電子束蒸發,3D打印,離子擴散,接觸式光刻,電子束光刻,濕法刻蝕,干法刻蝕等各種工藝手段;同時也會介紹介紹常用的工藝檢測方法和MEMS加工技術、集成電路工藝集成技術和工藝技術的發展趨勢等問題。通過本課程的學習,學生不僅可以掌握器件製造的基本工藝和原理,同時也可以瞭解到當前工業界以及研究領域最新的工藝趨勢。


課程大綱

第一章節 課程介紹
課程介紹

第二章節 微納工藝綜述和超淨環境
微納工藝綜述和超淨環境

第三章節 集成電路中的材料和單晶硅的制備
第一小節 集成電路中的材料
第二小節 單晶硅的特性及生長方法

第四章節 薄膜制備技術
第一小節 薄膜制備技術簡介
第二小節 化學氣相澱積技術
第三小節 氧化和原子層澱積技術
第四小節 外延技術
第五小節 濺射、蒸發和電鍍技術

第五章節 圖形化工藝
第一小節 光刻工藝綜述
第二小節 光刻工藝詳解
第三小節 光刻系統及其關鍵參數
第四小節 光刻工藝中的常見問題及解決方法
第五小節 提高光刻精度的辦法及其他先進光刻技術

第六章節 圖形轉移技術
第一小節 濕法腐蝕和干法刻蝕
第二小節 干法刻蝕中的若干問題

第七章節 摻雜
第一小節 擴散工藝綜述
第二小節 影響擴散的因素
第三小節 離子注入工藝介紹
第四小節 影響離子注入的因素

第八章節 CMOS集成電路工藝模塊
第一小節 淺槽隔離
第二小節 自對準硅化物
第三小節 High-K介質和金屬柵
第四小節 大馬士革工藝

第九章節 良率與封裝技術
第一小節 集成電路良率定義
第二小節 封裝和封裝驅動力

第十章節 工藝集成
第一小節 典型的CMOS製造工藝流程
第二小節 CMOS scaling 中的若干問題

第十一章節 微機電系統
第一小節 MEMS製造工藝
第二小節 體型微加工技術
第三小節 表面型的微加工技術
第四小節 MEMS工藝實例



課程列表


第01講課程介紹 →00:16:48
第02講微納工藝綜述和超淨環境 →00:20:35
第03講第一小節 集成電路中的材料 →00:10:09
第04講第二小節 單晶硅的特性及生長方法 →00:19:29
第05講第一小節 薄膜制備技術簡介 →00:23:19
第06講第二小節 化學氣相澱積技術 →00:22:49
第07講第三小節 氧化和原子層澱積技術 →00:26:10
第08講第四小節 外延技術 →00:12:55
第09講第五小節 濺射、蒸發和電鍍技術 →00:26:13
第10講第一小節 光刻工藝綜述 →00:09:41

第11講第二小節 光刻工藝詳解 →00:11:11
第12講第三小節 光刻系統及其關鍵參數 →00:17:11
第13講第四小節 光刻工藝中的常見問題及解決方法 →00:18:50
第14講第五小節 提高光刻精度的辦法及其他先進光刻技術 →00:18:30
第15講第一小節 濕法腐蝕和干法刻蝕 →00:23:41
第16講第二小節 干法刻蝕中的若干問題 →00:15:31
第17講第一小節 擴散工藝綜述 →00:17:07
第18講第二小節 影響擴散的因素 →00:13:06
第19講第三小節 離子注入工藝介紹 →00:18:30
第20講第四小節 影響離子注入的因素 →00:18:13

第21講第一小節 淺槽隔離 →00:16:02
第22講第二小節 自對準硅化物 →00:15:51
第23講第三小節 High-K介質和金屬柵 →00:10:51
第24講第四小節 大馬士革工藝 →00:09:26
第25講第一小節 集成電路良率定義 →00:15:24
第26講第二小節 封裝和封裝驅動力 →00:15:02
第27講第一小節 典型的CMOS製造工藝流程 →00:15:38
第28講第二小節 CMOS scaling 中的若干問題 →00:15:55
第29講第一小節 MEMS製造工藝 →00:09:12
第30講第二小節 體型微加工技術 →00:12:12
第31講第三小節 表面型的微加工技術 →00:08:00
第32講第四小節 MEMS工藝實例 →00:11:18

 

 

課程編號 課 程 名 稱 集 數(全) 主講人(單位) 課程系列
  MS_5214  應用光學  全 66  集  北京理工大學 國家級課程 
  MS_5158  激光原理與技術  全 31  集  廈門大學 國家級課程 
  SR_8552  機械製造概論  全 57  集  電子科技大學 遠距教育課程 
  SR_2533  機械製造技術基礎  全 29  集  東北大學 國家級課程 
  SR_1606  機械製造技術基礎  全 89  集  吉林大學 大學學術課程 
  MS_5118  機械製造技術基礎  全 75  集  太原理工大學 國家級課程 
  SR_8550  機械設計基礎  全 37  集  石油大學 遠距教育課程 
  SR_8551  機械設計基礎  全 36  集  電子科技大學 遠距教育課程 
  SR_8609  機械設計基礎  全 64  集  西安交通大學 遠距教育課程 
  SR_8608  機械設計基礎  全 21  集  上海交通大學 遠距教育課程 
  MS_5290  機械設計  全 123  集  西北工業大學 國家級課程 
  SR_1605  機械理論力學  全 66  集  吉林大學 大學學術課程 
  MS_5117  機械原理  全 260  集  西北工業大學 國家級課程 
  SR_2531  機械原理  全 49  集  瀋陽航空航天大學 國家級課程 
  SR_8564  機械原理  全 44  集  上海交通大學 遠距教育課程 
  SR_8547  機械工程測試技術  全 43  集  上海交通大學 遠距教育課程 
  MS_5352  機械工程控制基礎  全 41  集  東北大學 國家級課程 
  MS_5382  機床數控技術  全 53  集  南京航空航太大學 國家級課程 
  SR_8606  熱能與動力機械測試技術  全 36  集  西安交通大學 遠距教育課程 
  SR_1600  熱能與動力機械基礎  全 50  集  吉林大學 大學學術課程 
  SR_8600  模具設計與製造基礎  全 33  集  山東大學 遠距教育課程 
  MS_5388  數控銑床-加工中心加工工藝程式設計與操作  全 40  集  新鄉職業技術學院 國家級課程 
  MS_5473  數控設備故障診斷與維修  全 36  集  河南工業技術學院 國家級課程 
  MS_5472  數控車削加工技術與技能  全 44  集  職教建設委員會 國家級課程 
  MS_5153  製造過程故障診斷技術  全 99  集  長安大學 國家級課程 
  SR_1587  製造工程基礎  全 50  集  清華大學 大學學術課程 
  MS_5288  精密機械設計  全 52  集  武漢大學 國家級課程 
  SR_8639  精密和超精密加工技術  全 24  集  哈爾濱工業大學 遠距教育課程 
  SR_8635  電子測量與智能儀器  全 32  集  浙江大學 遠距教育課程 
  MS_1033  微納加工技術  全 32  集  清華大學 國家級課程 
  SR_1581  傳感器網絡與物聯網  全 55  集  山東大學 大學學術課程 
  SR_1580  傳感器技術及應用  全 79  集  北京航空航天大學 大學學術課程 
  MS_5282  傳感器技術  全 101  集  (武漢大學 國家級課程 
  SR_1577  測試技術  全 47  集  中國地質大學 大學學術課程 
  SR_8626  測量儀表及自動化  全 51  集  石油大學 遠距教育課程 
  MS_5102  晶體光學  全 67  集  西南石油大學 國家級課程 
  SR_2636  設計快速表現  全 20  集  瀋陽航空航天大學 國家級課程 
  SR_2633  產品開發設計  全 23  集  遼寧科技大學 國家級課程 
  SR_8625  現代機械設計方法  全 25  集  哈爾濱工業大學 遠距教育課程 
  MS_5092  現代儀器分析  全 40  集  福建農林大學 國家級課程 
  SR_1564  焊接結構學  全 76  集  哈爾濱工業大學 大學學術課程 
  SR_1563  控制工程基礎  全 53  集  清華大學 大學學術課程 
  MS_5367  納米技術  全 55  集  哈爾濱工業大學 國家級課程 
  MS_5314  品質管制  全 29  集  四川大學 國家級課程 
  MS_5235  金屬材料及熱處理  全 61  集  中國地質大學 國家級課程 
  SR_8574  金屬工藝學  全 32  集  哈爾濱工業大學 遠距教育課程 
  MS_5179  金屬工藝學  全 74  集  武漢理工大學 國家級課程 
  MS_5429  沖壓工藝與模具設計  全 87  集  成都工業學院 國家級課程 
  MS_5428  冷沖模設計  全 76  集  常州機電職業技術學院 國家級課程 
  MS_5516  自動機與自動線  全 95  集  南京工業職業技術學院) 國家級課程 
  MS_5385  多軸數控程式設計與模擬加工(NXCAM)  全 91  集  蘇州工業職業技術學院 國家級課程 
  MS_5309  光學系統設計與工藝  全 59  集  北京理工大學 國家級課程 
  MS_1014  光學工程基礎  全 129  集  清華大學 國家級課程 
  MS_5222  互換性與測量技術基礎  全 28  集  (哈爾濱工業大學 國家級課程 
  MS_5247  工程機械構造  全 101  集  長安大學 國家級課程 
  MS_5162  工程材料與機械製造基礎  全 104  集  山東大學 國家級課程 
  MS_5393  工程材料與熱加工  全 39  集  揚州市職業大學 國家級課程 
  SR_1509  小波與濾波器設計  全 65  集  中國科學院 大學學術課程 
  MS_5384  Proe-CADCAM技術  全 117  集  焦作大學 國家級課程 
  MS_5239  3D打印技術及應用  全 30  集  西北工業大學 國家級課程 
table>

  http://www.estu.com.tw/ 易學族課程網  
電子信箱:   estucourse@gmail.com     
               Copyright © 2017 Estu. All Rights Reserved